01 灵活的空间对位及自动补偿功能，智能高效

视觉系统超高速采样晶圆位置，通过算法自动补偿公差、位置及角度误差，膜片贴合精度可达±20~50um,贴合精准涂胶：胶线位置精度可达30um

02 出众的空间轨迹控制能力，贴合精度高

贴合位置由光谱共焦测高系统采集空间高度数据，通过智能算法对X轴及Y轴的空间旋转运动控制，实现上、下台板的相对空间及角度的精准调节

03 全自动智慧贴合，产品良率高

高精度框胶涂布，面胶喷墨打印均匀高效

04 模块化设计，使用人性化

多功能灵活搭配，可根据客户需求模块化搭建，方便功能升级